Cr-Ge-Te化合物薄膜の相変化挙動

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-W331-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3655

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

Cr-Ge-Te化合物薄膜の相変化挙動

*畑山祥吾, 進藤怜史, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

著者情報

キーワード: 22a-W331-9, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価・プロセス・デバイス, カルコゲン系材料, 相変化メモリ, Cr-Ge-Te, カルコゲナイド

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