応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 20p-S222-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

c面サファイア上アモルファスZnO/V添加ZnO積層膜の熱処理による固相成長
*渡部 晃弘, 碓井 将也, 川島 知之, 鷲尾 勝由
著者情報
キーワード: 20p-S222-6, 合同セッションＫ, 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 薄膜成長, 酸化亜鉛, RFマグネトロンスパッタ, 固相成長
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