Si基板上c軸配向PMnN-PZTエピタキシャル急冷薄膜の面内ひずみの高温XRD解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-A23-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1208

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Si基板上c軸配向PMnN-PZTエピタキシャル急冷薄膜の面内ひずみの高温XRD解析

*吉田慎哉, 田中秀治

著者情報

キーワード: 13a-A23-1, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電・圧電デバイス, チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）, 圧電MEMS, キュリー温度

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