単結晶ダイヤモンド機械共振子の品質係数の向上

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-A26-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1278

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

単結晶ダイヤモンド機械共振子の品質係数の向上

*廖梅勇, 戸田雅也, 桑立雯, 寺地徳之, 井村将隆, 小出康夫

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キーワード: 14p-A26-14, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド薄膜, マイクロマシン, 品質係数, 単結晶ダイヤモンド

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