反応性スパッタリング法によるFe<sub>3-x</sub>O<sub>4 </sub>(001)成膜時のRHEED振動の観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-D62-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1412

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

反応性スパッタリング法によるFe_3-xO₄(001)成膜時のRHEED振動の観察

小島泰介, 田結荘健, ソニアシャーミン, *柳原英人

著者情報

キーワード: 13p-D62-4, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, 反応性スパッタリング法, 反射高速電子線回折, 層状成長

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