レーザー生成プラズマ源用SnO<sub>2</sub>バブルターゲットの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-C31-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1544

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

レーザー生成プラズマ源用SnO₂バブルターゲットの開発

*庄司俊太郎, Musgrave Christopher, 長井圭治

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キーワード: 13p-C31-10, ビーム応用, X線技術, EUV光源, 極端紫外光, プラズマ, 材料

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