同期走査投影露光と化学エッチングによるマイクロ円筒部品の製作

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-D61-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1568

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

同期走査投影露光と化学エッチングによるマイクロ円筒部品の製作

*伊藤海樹, 鈴木佑汰, 堀内敏行

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キーワード: 13a-D61-1, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 光リソ, リソグラフィ, 同期走査投影露光, 円筒試料

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