高強度発光ダイオードと正方形光ファイバを用いた投影露光装置の性能評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-D61-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1569

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

高強度発光ダイオードと正方形光ファイバを用いた投影露光装置の性能評価

*鈴木佑汰, 渡辺潤, 岩崎順哉, 堀内敏行

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キーワード: 13a-D61-2, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 光リソ, リソグラフィ, 発光ダイオード, 光ファイバ

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