応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15p-P6-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

ECR-MWプラズマ源イオンビームスパッタ法へのRF基板バイアス印加によるCu薄膜形成
*針谷 達, 山野 将史, 今井 貴大, 飯島 佑史, 磯野 凌, 須田 善行, 滝川 浩史
著者情報
キーワード: 15p-P6-3, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, イオンビームスパッタ, RFプラズマ, 金属薄膜
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© 2016 公益社団法人 応用物理学会
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