誘導結合プラズマ支援RFスパッタリングによるZnO(N)薄膜への効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-P6-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1668

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

誘導結合プラズマ支援RFスパッタリングによるZnO(N)薄膜への効果

*石井優輝, 榊原聖也, 金子哲也, 沖村邦雄, 進藤春雄, 磯村雅夫

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キーワード: 15p-P6-14, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, 成膜・表面処理装置および制御技術, 誘導結合プラズマ, 酸化亜鉛

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