超高温RTP 技術によるSi ウェーハの点欠陥制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-B8-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_180

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

超高温RTP 技術によるSi ウェーハの点欠陥制御

*荒木浩司, 須藤治生, 青木竜彦, 前田進

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キーワード: 13p-B8-3, シンポジウム, 古くて新しい点欠陥　～材料を越えた視点から見えてくるもの～, Cz-Si結晶, 急速昇降温熱処理, 点欠陥

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