応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 16a-B10-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

非晶質Zr-Ge-N層上への金属堆積による低抵抗Geコンタクトの形成
*岡本 隼人, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
著者情報
キーワード: 16a-B10-4, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 金属-半導体界面/コンタクト, ゲルマニウム, コンタクト抵抗, 金属/半導体接合
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