応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 16a-B10-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

ナノシリコン弾道電子源を利用した IV 族半導体薄膜のプリンティング堆積
*須田 隆太郎, 八木 麻実子, 小島 明, 白樫 淳一, 越田 信義
著者情報
キーワード: 16a-B10-7, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, ナノプロセス, ナノシリコン, 弾道電子, プリンティング堆積
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