多結晶GeSnのキャリア輸送特性と熱伝導率

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16a-B10-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_2757

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

多結晶GeSnのキャリア輸送特性と熱伝導率

*内田紀行, 宮崎吉宣, 前田辰郎, 福田浩一, 服部淳一, 大石佑治, 石丸学, Ruben R. Lieten, Jean-Pierre Locquet

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キーワード: 16a-B10-9, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 低・高温ポリシリコン、ゲルマニウム及び関連材料, ゲルマニウムスズ化合物

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