応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14a-P6-15
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Si基板上AlGaN/GaN HEMT構造縦方向耐圧におけるSLS層周期数の影響
*山岡 優哉, 各務 憲, 生方 映徳, 矢野 良樹, 田渕 俊也, 松本 功, 江川 孝志
著者情報
キーワード: 14a-P6-15, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, AlGaN/GaN HEMT, Si基板, 縦方向耐圧
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