パワーデバイス内部の空乏層の評価（2）数値計算との比較パワーデバイス用結晶の評価（ⅩⅩ）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-A23-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3319

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

パワーデバイス内部の空乏層の評価（2）数値計算との比較パワーデバイス用結晶の評価（ⅩⅩ）

*山本秀和, 小森郷平, 小田昭紀, 潤間威史, 佐藤宣夫

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キーワード: 15p-A23-4, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, シミュレーション, パワーデバイス, 半導体, シミュレーション

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