Nd:YAG固体レーザーの5倍波(波長 213 nm)用いたSrTiO<sub>3</sub>(100)基板上LaAlO<sub>3</sub>薄膜のパルスレーザー堆積

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-419-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1408

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

Nd:YAG固体レーザーの5倍波(波長 213 nm)用いたSrTiO₃(100)基板上LaAlO₃薄膜のパルスレーザー堆積

*中村直人, 杉山一生, 清水亮太, 一杉太郎

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キーワード: 14p-419-16, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 界面、ヘテロ構造, 酸化物エレクトロニクス, パルスレーザー堆積法

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