角度分解トポグラフィーと局所ロッキングカーブ法によるAlイオン注入SiC基板の歪状態の観察－X線侵入深さ依存性―

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-512-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_157

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

角度分解トポグラフィーと局所ロッキングカーブ法によるAlイオン注入SiC基板の歪状態の観察－X線侵入深さ依存性―

*高橋由美子, 平野馨一, 志村考功, 長町信治

著者情報

キーワード: 16p-512-8, シンポジウム, 薄膜・多層膜の界面イメージング, トポグラフィー, ロッキングカーブ, 炭化ケイ素

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2017 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top