屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィにおける露光フィールド内パターン形成特性の均一化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-423-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1658

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

屈折率分布型レンズアレイを用いた投影露光リソグラフィにおける露光フィールド内パターン形成特性の均一化

*堀内敏行, 佐藤貴紀, 小林宏史

著者情報

キーワード: 14p-423-12, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 光リソ, 光リソグラフィ, 屈折率分布型レンズアレイ, 投影露光装置

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