大気圧プラズマCVD法を用いた有機物層形成による蛍光イットリアナノ粒子の高機能化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-315-14

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1751

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

大気圧プラズマCVD法を用いた有機物層形成による蛍光イットリアナノ粒子の高機能化

*関谷健太, 上村真生, 曽我公平, 北野勝久

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キーワード: 17a-315-14, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, プラズマ, CVD, 表面処理

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