第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 15a-302-7
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 64
開催地: パシフィコ横浜
開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17
ポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の表面平坦化によるペンタセン薄膜トランジスタのキャリア移動度向上
キーワード:
15a-302-7,
有機分子・バイオエレクトロニクス,
有機EL・トランジスタ,
トランジスタ作製技術（電極，絶縁膜，表面処理）,
有機トランジスタ,
ゲート絶縁膜,
ポリシルセスキオキサン
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