誘電体多層膜ミラーを用いたナノコラム共振器の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-503-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3387

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

誘電体多層膜ミラーを用いたナノコラム共振器の作製

*福田正志, 今野裕太, 鈴木拓良, 岸野克己

著者情報

キーワード: 14a-503-8, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, 半導体, ナノコラム, 共振器

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