応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14a-503-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

AlNの原料交互供給MBE成長においてN*供給時に観察されたRHEED振動とその解釈
*平井 和斗, 金子 光顕, 木本 恒暢, 須田 淳
著者情報
キーワード: 14a-503-9, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, AlN, rf-MBE, layer-by-layer成長
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