グラフェンバッファ層を用いた非晶質基板上へのAlGaN/GaN HEMT構造の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-503-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3448

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

グラフェンバッファ層を用いた非晶質基板上へのAlGaN/GaN HEMT構造の作製

綿引康介, 小林広師, *太田実雄, 上野耕平, 小林篤, 藤岡洋

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キーワード: 17a-503-2, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 異種基板, HEMT, グラフェン, 非晶質基板

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