EVPE成長AlN/サファイア界面におけるボイド形成メカニズムの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-503-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3449

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

EVPE成長AlN/サファイア界面におけるボイド形成メカニズムの検討

*岸元克浩, 船戸充, 川上養一

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キーワード: 17a-503-3, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 異種基板, 窒化アルミニウム, バルク

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