新規モリブデン原料i-Pr<sub>2</sub>DADMo(CO)<sub>3</sub>を用いたMoS<sub>2</sub>のMOCVD

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15a-F203-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3894

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

新規モリブデン原料i-Pr₂DADMo(CO)₃を用いたMoS₂のMOCVD

*石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 町田英明, 大下祥雄, 若林整, 小椋厚志

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キーワード: 15a-F203-6, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 二硫化モリブデン

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