同時スパッタ法と(t -C<sub>4</sub>H<sub>9</sub>)<sub>2</sub>S<sub>2</sub>による硫化で作製したMo<sub>1-x</sub>W<sub>x</sub>S<sub>2</sub>の評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15a-F203-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3895

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

同時スパッタ法と(t -C₄H₉)₂S₂による硫化で作製したMo_1-xW_xS₂の評価

*日比野祐介, 石原聖也, 澤本直美, 大橋匠, 松浦賢太朗, 町田英明, 須藤弘, 若林整, 小椋厚志

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キーワード: 15a-F203-7, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 混晶, 層状材料

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