オゾン酸化によるエンハンスメント型MoS<sub>2</sub>トランジスタの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16a-F203-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3904

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

オゾン酸化によるエンハンスメント型MoS₂トランジスタの作製

*足立薫彦, 下川慶久, 佐野宏亮, 田中貴久, 高橋綱己, 内田建

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キーワード: 16a-F203-8, ナノカーボン, 層状物質, デバイス応用, 二硫化モリブデン, トランジスタ, 酸化

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