応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第78回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 7a-A402-10
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

高温での窒化ガリウム低損傷塩素エッチング
*石川 健治, 劉 沢成, 今村 真人, 堤 隆嘉, 近藤 博基, 小田 修, 関根 誠, 堀 勝
著者情報
キーワード: 7a-A402-10, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, ダメージ・プロセスインテグレーション, プラズマエッチング, 窒化ガリウム, プラズマ誘起ダメージ
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