SiN/SiO<sub>2</sub>積層深孔加工におけるパターン内壁の表面組成解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-A402-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1759

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

SiN/SiO₂積層深孔加工におけるパターン内壁の表面組成解析

*岩瀬拓, 唐橋一浩, 浜口智志

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キーワード: 7p-A402-1, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 新材料・新構造のエッチング, プラズマ, エッチング, 高アスペクト比

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