応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第78回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 7p-A402-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

ガス流速の分布調節機構によるウェハ面内のエッチング性能分布制御性の向上
*森 功, 田中 基裕, 川那辺 哲雄, 江藤 宗一郎, 安井 尚輝
著者情報
キーワード: 7p-A402-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, エッチング装置および制御技術, プラズマエッチング装置, 面内プラズマ分布均一性制御, ガス流速分布制御
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (324K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2017 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top