応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
The 78th JSAP Autumn Meeting 2017
セッションID: 5p-S22-2
会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

Advances in nitride film and coating growth by chemical vapor deposition
*Michel Pons, Danying Chen, Manoel Jacquemin, Juan Su, Raphael Boichot, Frederic Mercier, Elisabeth Blanquet, Sabine Lay
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キーワード: 5p-S22-2, Chemical Vapor Deposition, Aluminum nitride, Coating
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© 2017 The Japan Society of Applied Physics
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