応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第78回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 7p-S22-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

光電気化学(PEC)反応を利用したリセスゲートAlGaN/GaN HEMTの作製
*植村 圭佑, 佐藤 威友, 橋詰 保
著者情報
キーワード: 7p-S22-7, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 窒化物半導体, 電気化学, 閾値電圧制御
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