Mo<sub>2</sub>C 電極を用いた SiC ショットキーバリアダイオードの通電試験

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6a-A201-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3488

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

Mo₂C 電極を用いた SiC ショットキーバリアダイオードの通電試験

*齋藤大樹, 岩井洋, 筒井一生, 角嶋邦之, 若林整, 星井拓也, 宗田伊理也

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キーワード: 6a-A201-7, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, パワーデバイス, ショットキーバリアダイオード, SiC

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