X-ray Topography and Transmission Electron Microscopy Analysis of <c + a> Threading Mixed Dislocations in 4H-SiC

The 78th JSAP Autumn Meeting 2017

セッションID: 6p-A201-3

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

X-ray Topography and Transmission Electron Microscopy Analysis of <c + a> Threading Mixed Dislocations in 4H-SiC

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キーワード: 6p-A201-3, 4H-SiC, LACBED, threading dislocations

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