4H-SiC中のシングルショックレー型積層欠陥の拡大/縮小現象解明を目指したエネルギーモデル

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6p-A201-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3497

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

4H-SiC中のシングルショックレー型積層欠陥の拡大/縮小現象解明を目指したエネルギーモデル

*飯島彬文, 須田淳, 木本恒暢

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キーワード: 6p-A201-4, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, シミュレーション, 炭化ケイ素, 積層欠陥

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