シリコン結晶成長の点欠陥の発生と消滅に関する一考察(2)：格子間原子の発生機構

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6a-A503-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3529

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

シリコン結晶成長の点欠陥の発生と消滅に関する一考察(2)：格子間原子の発生機構

*阿部孝夫, 高橋徹, 白井光雲

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キーワード: 6a-A503-8, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 点欠陥, 点欠陥

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