Si単結晶成長における転位密度の半径方向温度差依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6a-A503-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3530

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

Si単結晶成長における転位密度の半径方向温度差依存性

*中野智, 劉鑫, 韓学峰, 柿本浩一

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キーワード: 6a-A503-9, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 転位, シリコン, 転位

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