赤燐高ドープCZ-Si結晶におけるSi-P析出物の構造解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-PB6-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3551

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

赤燐高ドープCZ-Si結晶におけるSi-P析出物の構造解析

*仙田剛士, 石川高志, 藤森洋行, 松村尚, 成松真吾, 安部吉亮, 堀川智之

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キーワード: 7p-PB6-5, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 構造評価, シリコン

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