スパッタ堆積MoS<sub>2</sub>膜の下地材料依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-C11-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3837

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

スパッタ堆積MoS₂膜の下地材料依存性

*大橋匠, 宗田伊理也, 石原聖也, 日比野祐介, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整

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キーワード: 7p-C11-5, ナノカーボン, 層状物質, デバイス応用, 二硫化モリブデン, スパッタリング法

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