MoS<sub>2</sub>ターゲット高温スパッタ法のロングスロー化によるMoS<sub>2</sub>膜結晶性向上

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-C11-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3836

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

MoS₂ターゲット高温スパッタ法のロングスロー化によるMoS₂膜結晶性向上

*坂本拓朗, 大橋匠, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整

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キーワード: 7p-C11-4, ナノカーボン, 層状物質, デバイス応用, 二硫化モリブデン, スパッタリング, ロングスロー

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