YF<sub>3</sub>薄膜を用いた真空紫外センサの粒子径制御及び応答速度評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6p-A414-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_741

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

YF₃薄膜を用いた真空紫外センサの粒子径制御及び応答速度評価

*鈴木健太郎, 山崎亮, 大谷潤, 小野晋吾, 加瀬征彦

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キーワード: 6p-A414-15, 光・フォトニクス, 光計測技術・機器, 光センサー，光計測システム, 光センサ, 真空紫外, フッ化物

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