第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 17p-P3-20
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 65
開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場
開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20
直接貼付InP/Si基板におけるボイド占有率のアニール時間依存性
*早坂 夏樹, 大貫 雄也, 鎌田 直樹, 韓 旭, 相川 政輝, 内田 和樹, 杉山 滉一, 松浦 正樹, Periyanayagam Gandhi Kallarasan, 矢田 拓夢, 下村 和彦
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