バイアス掃引SNDM法による分極反転特性の面内分布観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-C104-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1403

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

バイアス掃引SNDM法による分極反転特性の面内分布観察

*平永良臣, 長康雄

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キーワード: 19a-C104-6, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, プロセス・評価技術, 強誘電体, 走査型プローブ顕微鏡, 分極反転

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