ZnOナノワイヤ上でのHf<sub>1-x</sub>Zr<sub>x</sub>O<sub>2</sub>薄膜の結晶化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-C104-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1414

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

ZnOナノワイヤ上でのHf_1-xZr_xO₂薄膜の結晶化

*竹内洋平, 兼松宏行, 小高雄哉, 福島宏昌, 藤沢浩訓, 中嶋誠二, 清水勝

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キーワード: 19p-C104-5, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電体・高誘電率薄膜, 酸化亜鉛, ナノワイヤ, 酸化ハフ二ウム

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