応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-C204-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

C2HxFy化合物の電子物性と解離(II)
*林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
著者情報
キーワード: 19p-C204-9, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 絶縁膜のエッチング, SiNx エッチング, 水素化フロロエタン, 計算化学
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