マイクロ波励起水中気泡内プラズマによるスピンオングラス膜の酸化改質処理の効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-C204-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1856

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

マイクロ波励起水中気泡内プラズマによるスピンオングラス膜の酸化改質処理の効果

*藤澤幸子, 五十川昌邦, 牧野伸顕

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キーワード: 19p-C204-10, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 表面処理・表面改質・表面修飾, プラズマ, 表面改質

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