応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-C204-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

パルス変調プラズマ中の準安定 Ar 密度変化と光ダメージの相関
*武田 直己, 三好 康史, 石川 健治, 堤 隆嘉, 竹田 圭吾, 太田 貴之, 近藤 博基, 深沢 正永, 辰巳 哲也, 堀 勝
著者情報
キーワード: 19p-C204-11, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, ダメージ・プロセスインテグレーション, Ar メタステーブル, パルス変調プラズマ
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