2段階MOVPE法を用いたGaNナノワイヤの結晶成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-E202-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_3540

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

2段階MOVPE法を用いたGaNナノワイヤの結晶成長

*佐々井耕平, 鈴木敦志, 澁谷弘樹, 栗崎湧気, 軒村恭平, 竹林穣, 飯田一喜, 曽根直樹, 上山智, 竹内哲也, 岩谷素顕, 赤﨑勇

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キーワード: 17p-E202-9, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, GaN ナノワイヤ

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