ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-133-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1311

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用

*清水貴博, 柳谷隆彦

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キーワード: 19p-133-1, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, PZT, ScAlN, ZnO

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